Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман

У нас вы можете скачать книгу Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман в fb2, txt, PDF, EPUB, doc, rtf, jar, djvu, lrf!

Немонотонное изменение сопротивления разряда при росте концентрации реактивного газа Изменение сопротивления реактивного разряда при образовании оксинитридов, карбидов и других соединений на поверхности мишени Стабилизация процесса реактивного магнетронного распыления по электрическим параметрам разряда Особенности вольтамперных характеристик реактивного магнетронного разряда при фиксированном потоке реактивного газа Стабилизация реактивного процесса стабилизацией напряжения разряда и контролем напуска газа по току разряда Стабилизация реактивного процесса стабилизацией тока разряда и управлением напуском реактивного газа по напряжению разряда Стабилизация и управление реактивным импульсным разрядом по величине циркулирующей мощности Достижение долговременной стабильности процесса реактивного магнетронного распыления Компенсация влияния увеличения глубины эрозионной канавки Учет влияния изменения со временем других параметров процесса Влияние температуры мишени на процесс реактивного распыления Получение пленок реактивным магнетронным нанесением из не охлаждаемой мишени Получение пленок реактивным магнетронным нанесением из расплавленной мишени Влияние температуры подложки на скорость роста и состав пленки в реактивном процессе Альтернативные способы устранения гистерезиса из характеристик реактивного процесса Разделение объемов распыления мишени и нанесения пленки с раздельным напуском аргона и реактивного газов Разделение по времени периодических процессов нанесения пленки и ее химической реакции с реактивным газом Импульсная подача реактивного газа Добавление второго реактивного газа Некоторые способы повышения эффективности процессов реактивного нанесения тонких пленок Повышение степени активации частиц реактивного газа вблизи подложки Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением.

Чтение книги недоступно Для доступа к чтению книги необходимо войти в систему. Если у Вас есть личный кабинет в ЭБС Лань - авторизуйтесь, используя форму входа в правом верхнем углу экрана.

Если у Вас нет личного кабинета - Зарегистрируйтесь в системе. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [Электронный ресурс]: Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом.

Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Информацию о способах оплаты и доставки Вы сможете узнать на странице магазина, после того, как перейдете по ссылке Купить. Рекомендуем также следующие похожие товары на данный товар А. Рухлин Физика сильноточных релятивистских электронных пучков Систематически излагаются основы физики импульсных сильноточных электронных пучков и их взаимодействия с плазмой.

Хуторской Геотермия арктических морей На основе авторских исследований и литературных данных описывается геотермическое поле арктических акваторий, выявляются такие его особенности, как связь.. Коняева Методы кластеризации в задачах оценки технического состояния зданий и сооружений в условиях неопределенности Рассмотрены методы кластеризации технического состояния зданий и сооружений в условиях неопределенности, основанные на комплексном использовании инструментария..

Чванов Прикладная газодинамика Представлены основные разделы прикладной газовой динамики, необходимые для определения характеристик реактивных двигателей, их агрегатов и стендовых систем, а.. Толокнов Резание металлов излучением мощных волоконных лазеров Первый раздел книги посвящен расширенному рассмотрению определяющих результатов процесса лазерного резания физических закономерностей.